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電子束加工是利用高能量的會聚電子束的熱效應或電離效應對材料進行的加工。利用電子束的熱效應可以對材料進行表面熱處理、焊接、刻蝕、鉆孔、熔煉，或直接使材料升華。電子束曝光則是一種利用電子束輻射效應的加工方法。
利用電子束加工設備的熱效應可以對材料進行表面熱處理、焊接、刻蝕、鉆孔、熔煉，或直接使材料升華。電子束曝光則是一種利用電子束輻射效應的加工方法（見電子束與離子束微細加工）。
作為加熱工具，電子束的特點是功率高和功率密度大，能在瞬間把能量傳給工件，電子束的參數(shù)和位置可以*確和迅速地調(diào)節(jié)，能用計算機控制并在無污染的真空中進行加工。根據(jù)電子束功率密度和電子束與材料作用時間的不同，可以完成各種不同的加工。
根據(jù)電子束流的產(chǎn)生原理，電子束加工具有如下特點：
1)電子束發(fā)射器發(fā)射的電子束流束斑極小，且可控，可以用于精密加工；
2)對于各種不同的被處理材料，其效率可高達75%一98%，而所需的功率則較低；
3)能量的發(fā)生和供應源可*確地靈活移動，并具有高的加工生產(chǎn)率；
4)可方便地控制能量束，實現(xiàn)加工自動化；
5)設備的使用具有高度靈活性，并可使用同一臺設備進行電子束焊接、表面改善處理和其他電子束加工設備；
6)電子束加工是在真空狀態(tài)下進行，對環(huán)境幾乎沒有污染；
7)電子束加工對設備和系統(tǒng)的真空度要求較高，使得電子束加工價格昂貴，一定程度上限制了其在生產(chǎn)中的應用。
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